目前比較通用的純水標準包括ISO 3696-1995、ASTM D1193-2011、GB6682-2008、GB/T33087-2016、GB/T11446-2013。這些標準都明確規定了超純水的硅含量要低于一定的值，不同純水級別對硅含量的要求見表1。
表1 不同純水級別對硅含量的要求
為什么要檢測超純水中硅的含量？
1、硅的來源廣
硅在自然界分布很廣，在地殼中的原子百分含量為16.7%，以石英砂和硅酸鹽的形成存在。土壤、黏土和砂子是天然硅酸鹽巖石風化后的產物，可以說，硅無處不在。純水的進水一般都來源自來水，自來水中溶解了部分來源豐富的硅酸鹽。有人會說，Na+、Cl- 來源更廣，為什么還要檢測Si呢？那是因為硅酸是一種非常弱的酸，pKa為9.5，在水中不易電離，不能通過常規的水純化技術有效地除去。
2、應用需求高
在電子工業用水和進行ppt級的痕量分析實驗用水都要求將超純水的硅含量降到低。在半導體/FPD工藝中,超純水中硅的濃度會給產品精度、成品率和原材料利用率帶來很大影響。在進行ppt級的痕量分析中，硅作為一種弱電離離子，其含量的變化對電阻率的影響甚小，所以不容易被發覺。
在現有純化技術中， RO對硅的去除率可以達到80%，EDI對硅的去除率可以達到99%[1]。用帶有EDI模塊的純水機更適合為硅含量要求高的實驗供水。
3、硅是評價水機純化性能的重要指標
（1）硅是評價離子交換樹脂吸附效果的重要依據
離子交換樹脂與硅的交換效率極易飽和，所以，硅是體現純水機純化柱質量好壞的標準之一。常規超純水機離子交換樹脂在壽命期內，硅是合格的。但是，在耗材使用接近末期，硅是zui先穿透離子交換柱進入產水的離子，在電阻率急劇下降前，就會出現這種硅穿透現象。在純化柱將被耗盡的后時刻，大量的硅會在短時間內溶出到產水中。
而且，硼穿透離子交換樹脂也與溶解硅有很大的關聯[2]。如果水機的純化柱吸附效果差，是很難保證水中的硅離子被去除。
（2）硅是水機純化能力的重要評價指標
檢測超純水的硅含量可以評價水機的整體純化性能，尤其新安裝運行的水機，如果硅含量不達標，說明水機各個純化模塊的填料配比、流路設計不科學、不合理。
機構的驗證是衡量產品質量的重要依據，上海樂楓Genie 系列智能純水系統的水質參數都通過了計量檢測中心的檢測,包括GB6682-2008、GB/ T 33087-2016和ASTM D1193-2006（2011）等標準要求。
[1] 聞瑞梅, 鄧守權, 張亞峰, et al. 半導體工藝用高純水中硅、硼的去除[J]. 電子學報, 2005, 33(2):197-199.
[2] Malhotra, S.; Chan, O.; Chu, T.; Fuckso, A.; “Correlation of Boron Breakthrough Versus Resistivity and Dissolved Silica in RO/DI System”, Ultrapure Water May/June 1996 pp 22-25. (1996)
上海樂楓生物科技有限公司
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